1 简介

真空泵(beng)是一种旋转式变(bian)容(rong)真空泵(beng)须有(you)(you)前(qian)级泵(beng)配合(he)方可(ke)使用在较宽的压力范围内有(you)(you)较大的抽速(su)对被抽除气体中含有(you)(you)灰尘和(he)水蒸汽不(bu)敏感广泛用于冶金(jin)、化工、食品、电子镀膜等(deng)行业。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽的(de)压力范(fan)围内(nei)有较(jiao)大的(de)抽(chou)速；

(2)转(zhuan)子(zi)具(ju)有良好的几何对称性，故振(zhen)动(dong)小(xiao)，运(yun)转(zhuan)平稳。转(zhuan)子(zi)间(jian)及转(zhuan)子(zi)和壳体间(jian)均(jun)有间(jian)隙，不(bu)用润滑，摩(mo)擦损失小(xiao)，可大(da)大(da)降低驱动(dong)功(gong)率，从而可实(shi)现较高转(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用(yong)油密(mi)封和润滑，可减少油蒸气对真空系(xi)统的污染；

(4)泵腔(qiang)内无压缩，无排(pai)气阀。结构(gou)简单、紧凑，对被抽气体(ti)中的灰(hui)尘(chen)和水蒸汽不敏感(gan)；

(5)压缩比较低(di)，对氢(qing)气抽气效果差；

(6)转子表面(mian)为形状较(jiao)(jiao)为复杂的曲线柱面(mian)，加工和检(jian)查(cha)比较(jiao)(jiao)困(kun)难(nan)。

3 结构

（1） 泵总体结(jie)构(gou)型(xing)式

真空泵(beng)的泵(beng)体的布置结(jie)构(gou)决定了(le)泵(beng)的总体结(jie)构(gou)。

立式(shi)(shi)结构的(de)进、排气口水(shui)平设(she)置，装(zhuang)配和连接管路(lu)都(dou)比较方便(bian)。但泵(beng)的(de)重心(xin)较高(gao)，在高(gao)速运转时稳定性差，故这种(zhong)型式(shi)(shi)多用于小泵(beng)。

卧式泵(beng)(beng)的进气口在上，排(pai)(pai)(pai)气口在下。有时(shi)为(wei)了(le)真空系统管道安装连接方便，可(ke)将排(pai)(pai)(pai)气口从(cong)水平方向接出，即进、排(pai)(pai)(pai)气方向是相互垂直的。此时(shi)，排(pai)(pai)(pai)气口可(ke)以从(cong)左或右两个方向开口，除接排(pai)(pai)(pai)气管道一端(duan)外，另一端(duan)堵死或接旁通阀。这(zhei)种泵(beng)(beng)结(jie)构重心(xin)低，高速运(yun)转时(shi)稳(wen)定性好。一般大、中型泵(beng)(beng)多采用此种结(jie)构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装(zhuang)(zhuang)(zhuang)。这种结构装(zhuang)(zhuang)(zhuang)配(pei)间隙(xi)容易(yi)控制，转子装(zhuang)(zhuang)(zhuang)配(pei)方便(bian)，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆(chai)装(zhuang)(zhuang)(zhuang)不便(bian)，润滑机构也相对复杂。

（2） 泵的传动方式

真空泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)两个转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)是通过一(yi)对高精度(du)齿轮(lun)来实现其(qi)相对同步(bu)运(yun)转(zhuan)的(de)(de)(de)(de)(de)。主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴通过联轴器与电(dian)机(ji)联接(jie)。在传(chuan)动(dong)(dong)(dong)结构(gou)布(bu)置上主(zhu)要有以下两种：其(qi)一(yi)是电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)与齿轮(lun)放在转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)同一(yi)侧如图。从动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)由(you)电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)端齿轮(lun)直(zhi)接(jie)传(chuan)过去带动(dong)(dong)(dong)，这样主(zhu)动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)轴的(de)(de)(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形(xing)小，则两个转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)之(zhi)间的(de)(de)(de)(de)(de)间隙(xi)不会因主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴的(de)(de)(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形(xing)大(da)而改(gai)变，故使(shi)转(zhuan)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)之(zhi)间的(de)(de)(de)(de)(de)间隙(xi)在运(yun)转(zhuan)过程中均匀(yun)(yun)。这种传(chuan)动(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)(de)(de)最大(da)缺点是：a.主(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴上有三个轴承，增加了泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)加工和装配难(nan)度(du)，齿轮(lun)的(de)(de)(de)(de)(de)拆装及调整(zheng)也不便；b.整(zheng)体结构(gou)不匀(yun)(yun)称，泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)重心偏向电(dian)动(dong)(dong)(dong)机(ji)和齿轮(lun)箱(xiang)一(yi)侧。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵的(de)(de)一个重要参数，是(shi)反应(ying)泵抽气(qi)能力(li)的(de)(de)特性值，是(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵相(xiang)关的(de)(de)一个数值，不(bu)同(tong)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵可以有不(bu)同(tong)的(de)(de)“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”度。而“理(li)论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”是(shi)理(li)论(lun)研(yan)究(jiu)时的(de)(de)一个概念，是(shi)排除各种实际因(yin)素(su)的(de)(de)影(ying)响(xiang)而提炼(lian)出的(de)(de)一种最理(li)想的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)容器(qi)经(jing)(jing)充分(fen)抽气(qi)后，稳定在某一真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度称为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)容器(qi)须经(jing)(jing)12小(xiao)时炼(lian)气(qi)，再经(jing)(jing)12小(xiao)时抽真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，最后一个小(xiao)时每隔(ge)10分(fen)钟测(ce)量(liang)一次，取其10次的(de)(de)平均值为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)值。